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        日本Mikasa小型旋轉涂膜器MS-B100:半導體與光學涂層的理想選擇

        發布時間: 2025-07-29  點擊次數: 186次
        在半導體和光學涂層領域,精確的薄膜制備是確保器件性能的關鍵。日本Mikasa的MS-B100小型旋轉涂膜器憑借其高性能和靈活性,成為實驗室和小規模生產環境中理想的薄膜制備設備。

        設備特點

        MS-B100采用AC伺服電機,具備無刷式設計,不僅避免了對無塵室的污染,還減少了電機發熱,降低了因連續使用導致溫度上升對膜厚再現性的影響。其最大可處理φ4英寸晶圓或75×75mm基板,適用于多種半導體和光學涂層應用。

        技術參數

        • 最大基板尺寸:φ4英寸晶圓或75×75mm基板
        • 轉速范圍:20~8,000轉/分
        • 旋轉精度:±1rpm(負載時)
        • 電機類型:交流伺服電機
        • 旋轉室直徑:φ220mm
        • 步進模式數量:100步×10種模式
        • 時間設置:999.9秒
        • 電源:AC100~240V,5A
        • 外形尺寸:259mm(寬)×246mm(高)×330mm(深)
        • 重量:10公斤

        功能與應用

        MS-B100具備高度的靈活性和可編程性,能夠滿足多種涂層工藝需求。其100步×10種模式的編程功能,使得用戶可以輕松設置復雜的涂層工藝。在半導體制造中,MS-B100可用于光刻膠的均勻涂布,確保后續光刻和蝕刻工藝的精確性。在光學涂層領域,該設備能夠精確控制薄膜厚度,實現高質量的光學薄膜制備。
        此外,MS-B100還配備了數字式真空計和安全聯鎖裝置,確保操作的安全性和穩定性。其無刷電機設計減少了維護需求,降低了長期使用成本。

        總結

        日本Mikasa的MS-B100小型旋轉涂膜器憑借其高性能、靈活性和可靠性,成為半導體和光學涂層領域薄膜制備的理想選擇。無論是實驗室研發還是小規模生產,MS-B100都能提供精確、高效的涂層解決方案,助力用戶實現高質量的薄膜制備。


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